Siliziumkarbidablagerungsofen ist ein Verfahren durch Einführung von Vorläufersors (normalerweise organische Verbindungen oder Metall organische Verbindungen) in das Reaktionsgas in die Reaktionskammer und dazu, dass sie bei hohen Temperaturen thermisch zersetzen oder chemisch reagieren, um das Reaktionsprodukt auf die zu bilden Substrat, um einen dünnen Film zu bilden. Diese Methode kann verwendet werden, um Industrieöfen für Heizmaterialien wie Metalle, Legierungen, Halbleiter und Keramik vorzubereiten.
Industrielle Elektroöfen werden in den folgenden Branchen und Produktherstellungen häufig eingesetzt:
Kohlenstoffbremsscheibe für Zivilluftfahrt
Thermie-Materialien für Kohlenstoffkohlenstoff Thermische Feldmaterialien für einkristall
-Silizium-Wachstum von Kohlenstoffkohlenstoff Thermiefeldmaterialien für polykristalline Siliziumhydrieröfen
Kohlenstoffkohlenstoff Thermiefeldmaterialien für Polykristallin-Silizium-Geräte und Pecvd-Oden Kohlenstoff Kohlenstoff Temperatur Strukturmaterialien
Kohlenstoff-Carbon-Hochtemperatur Hochtemperatur
Hochtemperaturstrukturstruktur
Teile
Kohlenstoff-Kohlenstoff-Silicon-Carbidverbundkomposites
Kohlenstoff/Kohlenstoffstapelkollaps, Kollapszustand
Kohlenstoffrohrkohlenstoffrohre
Kohlenstoff/Kohlenstoffplatte, Isolationszylinder
Kohlenstoff
/Kohlenstoffplatte, Isolationszylinder Kohlenstoff
/Kohlenstoff-
Carbon-Kohlenstoff-Carbon Crucible
CVD Chemische Dampfabscheidungsproduktparameter
1. Modell: yhgyl-cjl **/**-** (Spezifikationen für benutzerdefinierte Größen)
2. Heizmethode: Isostatic Graphit Widerstandserwärmung
3. Leistungsregelung: Niedrige Gleichstromspannung, hoher Strommodus
4. Die Konstruktionskraft beträgt 200 kW und die tatsächliche Produktionsleistung nicht mehr als 150 kW.
5. Stromversorgung: Drei-Phasen-Fünf-Draht-System, dreiphasige 380 V, Frequenz 50 Hz
6. Konstruktionstemperatur: 2100 ℃, langfristige gemeinsame Temperatur beträgt 2000 ℃;
7. Kühlmethode: natürliche Kühlung
8. Effektiver Materialsplatzierungsraum: angepasst vom Kunden
9. Heizrate: Bei der Belastung beträgt die durchschnittliche Heizrate unter 1000 ° C 5 ℃/min, die durchschnittliche Heizrate zwischen 1000 und 1800 ° C und die durchschnittliche Heizungsrate zwischen 1800-2250 ° C beträgt 3 ℃/3 ℃/ Mindest.
10. Genauigkeit der Temperaturregelung: RT -Raumtemperatur -2000 ℃ ≤ ± 5 ℃
11. Stromversorgungskonfiguration: Integriert in den Ofenkörper
12. Ofenkörpertyp: Horizontale Einladungstürentüren
13. Arbeitsgasgehalt im Ofen: Vakuum oder AR, N2, NH₃ und andere Gase (geringfügiger Überdruck), Vakuumersatz; (Automatische konstante Druckregelung im Bereich von 100-7500 Pa)
14. Temperaturgleichmäßigkeit: ≤ ± 3 ℃ (bewertet nach 30 Minuten konstanter Temperatur);
15. Temperaturmessung: Multi-Zonen-Wolfram-Hülsen-Wolfram-Rhenium-Thermoelement-Temperaturmessung
16. Temperaturregelung: Japan Shimaden FP23, PID Intelligent Temperatur Controller -Programmsteuerung (Temperaturregelgenauigkeit: ± 0,1 ℃) und manuelle Kontrolle;
17. Schutzmethode: SPS+Touchscreen+Ton und Lichtalarm
18. Vakuumsystemkonfiguration: 2H-150-Folienventilpumpe
19. Vakuummessung: Resistenz + Kapazitätsfilm Vakuummessgerät, Messbereich 0-10-5 PA
20. Druckanstiegsrate: Evakuieren Sie auf 5 Pa, stoppen Sie die Pumpe 30 Minuten und beginnen
21. Kaltes Ultimate Vakuumgrad: ≤ 5 Pa (in sauberer, kalter, leerer Ofenzustand)
22. Leere Ofenstaubsaugzeit ≤ 30 min (leerer Ofen, Raumtemperatur, siehe GB/T10066.1-2004 zum Testen.)
23. Maximaler Druck im Ofen 0,02 mPa
24. Massenflussmesser: Peking Qixing Huachuang
25. Kühlsystem: Alle zirkulierenden Wasserrohre sind gut versiegelt und es gibt keine Leckage während des Gebrauchs.
26. Elektrische Steuerung: Siemens Plc + Delta 15-Zoll-Touchscreen. Wichtige Parameter wie Vakuum, Temperatur und Leistung können in Echtzeit und historisch gefragt und durch ein USB -Blitzantrieb exportiert werden und einen papierlosen Rekorder einrichten.
27. Importierte Materialien werden für Schlüsselkomponenten wie Temperaturkontrollinstrumente und Thermometer verwendet.
28. Öffnungsmethode: Handbuch
29. Materialeintritts- und Ausgangsmethode: Ausgestattet mit speziellen Eingangs- und Ausgangswagen ausgestattet
30. Lackfarbe: Hauptkörpermilchweiß, Rahmen Himmelblau, Basisschwarz
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